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至少含有氧、氢、一i氧化碳和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法，其特征在于，判断上述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢及一i氧化碳的全部进行反应所需的氧的设定量，在上述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧以使该氧量超过所述设定量，然后使用第i催化剂使上述氩气中的一i氧化碳及氢与氧进行反应，以残留氧的状态生成---和水，伦教氧气厂，然后添加一氧i化碳以使上述氩气中的一i氧化碳量超过与残留的全部氧进行反应所需的一i氧化碳的设定量，顺德北滘伦教，然后通过使用第2催化剂使上述氩气中的氧与一氧i化碳进行反应，以残留一i氧化碳的状态生成---，然后使上述氩气中至少一i氧化碳、---、水和氮通过变压吸附法(日文圧力7 ^ 7吸着法)被吸附剂吸附， 上述第i催化剂和第2催化剂中的至少一方为钌催化剂，使用上述钌催化剂时的反应温度在200°c以下。伦教